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無地基板の検査

対象物:300mm角程度の無地の基板の検査
25fpsの200万画素GigEカメラ+光学2倍のレンズ=2.2?/画素での検査
照明は斜光照明(キセノンストロボ)
撮像&検査速度は24回/秒=カメラのフレームレートにて頭打ち。
全体を検査して15分程度。
大きな対象物を考えると「ラインセンサ」という選択肢もあります。
しかしながら2.2?/画素という高分解能になるとレンズの光学分解能が不足してきます。
そのため「エリアカメラ+顕微鏡レンズ」という構成になっています。
もはやカメラの撮像時間より検査時間の方が短くなっています。
パソコンの処理能力はそのレベルに到達しています。

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