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検査精度について ③

なお1画素分解能30μm(0.03mm)とした場合ですが、

下記の公式に当てはめて、視野範囲を計算してみます。

 

画素分解能 = 水平(X)/垂直(Y)視野範囲 ÷ 水平(X)/垂直(Y)解像度

 

X方向の視野

0.03【mm/画素】= X【mm】 ÷ 640【画素】

X = 19.2【mm】

 

Y方向の視野

0.03【mm/画素】= Y【mm】 ÷ 480【画素】

Y = 14.4【mm】

 

視野範囲は 19.2 × 14.4【mm】となります。

30万画素カメラでは、かなり小さいワークにしか対応できないことが分かります。

ただこれで、30μmサイズの欠陥をいつも安定的に検出できるという訳ではありません。

 

最少検出サイズ = 4【画素角】

 

一般的には上記の算式で考えます。

これに当てはめてみると

 

0.03【mm/画素】× 4【画素角】 = 0.12【mm角】

 

19.2 × 14.4 mm 以下のワークであれば、

0.12 × 0.12 mm の欠陥なら安定検出可能だと考えます。

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