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顕微鏡用高精度XYステージとの連携

中央精機製の顕微鏡用高精度XYステージ(150mmストローク)を用いて、
個片単位を高速に検査する装置を出展します。
特殊な撮像手法を用いて、移動しながら撮像&検査を行います。
移動速度は最高で16mm/秒です。
軸制御はキーエンスPLC KV-5000を用いています。
ピッチ送りではないため振動や騒音が少なくなっています。
基本的にニコンやオリンパスの顕微鏡に取り付けて用いる高精度ステージがメインであり、
それとFlexInspectorの連携がテーマです。
ラインセンサが「基板検査」がターゲットである点に対し、
顕微鏡XYステージは「半導体ウエハ検査」がターゲットになります。
【参考速度】
2.54mmピッチ340回の撮像&検査で約70秒
1個片あたり約200ms

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