与高精度XY平台联动，用于显微镜检查

使用高精度XY平台（150毫米行程），用于中央精机制造的显微镜、
该系统使用中央精机制造的显微镜的高精度XY平台（150毫米行程）高速检查单个工件。
它使用一种特殊的成像技术，在移动中捕捉和检查图像。
最大移动速度为16毫米/秒。
轴是由Keyence PLC KV-5000控制的。
振动和噪音减少了，因为该系统不是俯仰式的。
基本上，主要的重点是用于尼康和奥林巴斯显微镜的高精度平台、
主题是这与FlexInspector之间的联系。
线路传感器的目标是 "电路板检测"，而显微镜XY平台的目标是 "半导体晶圆检测"、
显微镜XY平台的目标是 "半导体晶圆检查"。
参考速度。
在间距为2.54毫米的情况下，340图像采集和检查约70秒。
每件约200毫秒。